儀器搭載帶玻璃或鈹窗口的鎢靶X射線管，工作條件達50KV、50W，配合比例接收器，可高效捕捉高達數(shù)kcps的計數(shù)率。其配備的準(zhǔn)直器支持固定或4個自動切換，最小可實現(xiàn)0.05x0.05mm的測量點，微聚焦管技術(shù)確保短測量距離內(nèi)的精準(zhǔn)定位。獨特的C型槽殼體設(shè)計與手動XY軸工作臺，既適配印刷線路板等大型平整樣品，也能滿足連接器、觸點等細小部件的精確定位測量，視頻窗口更輔助實現(xiàn)測量位置的可視化把控。